SFJ-261型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口，性能稳定可靠。它不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换，达到目前国际上先进水平。
主要技术指标：
最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s
漏率显示范围：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s
启动时间：≤5min
响应时间：＜2s
检漏口最高压力：300Pa
极限真空：5×10-4Pa
主机尺寸：560（W）×420（D）×300（H）
重 量：46KG
优势：
采用便携式设计，设备外型美观小巧
采用液晶触摸屏设计，有通讯接口，可以方便的将检漏数据输出
配置：
进口复合型分子泵
进口机械泵
进口电磁阀
进口放大器
内置标准漏孔
SFJ-261型氦质谱检漏仪将广泛的应用于半导体工艺设备的维护、工业气体系统的检测与安装、元器件在组装前的漏率测试及要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件下的应用场合。
